Utvidet returrett til 31. januar 2025

Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Om Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

Vis mer
  • Språk:
  • Tysk
  • ISBN:
  • 9783839614433
  • Bindende:
  • Paperback
  • Sider:
  • 230
  • Utgitt:
  • 18. mars 2019
  • Dimensjoner:
  • 210x148x12 mm.
  • Vekt:
  • 281 g.
  • BLACK NOVEMBER
  Gratis frakt
Leveringstid: 2-4 uker
Forventet levering: 8. desember 2024

Beskrivelse av Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

Brukervurderinger av Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.



Finn lignende bøker
Boken Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie. finnes i følgende kategorier:

Gjør som tusenvis av andre bokelskere

Abonner på vårt nyhetsbrev og få rabatter og inspirasjon til din neste leseopplevelse.